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熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0～5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
使用圧力範囲(kPa)50～300
応答性6sec
流量制御範囲5～100%FS
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
質量(kg)1.45
電源(V)AC100
出力電圧(V)0～5 DC(設定0.25～5 DC)
接続1/4in.SWL相当
表示形式(流量設定/出力)スケーリング表示
端子(背面)AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター
入出力アナログ信号(0～5VDC)
表示切替(設定/出力)トグルスイッチ
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