ガス置換の時、導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。同時に3台までコントロールできます。
アズワン品番1-3167-01
仕様〈圧力調整バルブ〉対象ガス:Ar、N2、O2、CO2、He、Air、C2H2のうち1種類1次圧力:10kg/cm2(約0.98MPa)Max調整圧力:1~3kg/cm2(約0.10~0.29MPa)流量:30l/min Max2次圧力:0~6kg/cm2(0~約0.59MPa)※( )内はPa換算値です。接続チューブ外径:Φ6mm〈流量計〉流量:10l/min Max耐圧:約0.69MPa(7kg/cm2)耐熱:60℃ Max接続チューブ外径:Φ6mmハウジング:PMMA(アクリル)
サイズ(mm)230×133×190
1個
¥108,000
税込¥118,800
当日出荷
視認性、耐久性に優れたポリカーボネート製の浮子式流量計です。
取り付け時に表面の飛び出しが少なくなるようなデザインです。
流量調節バルブが付属しています。
測定対象空気
材質(本体)PC(ポリカーボネート)
使用温度範囲(℃)0~+60
接続口径(Rc)1/8
精度±5%
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0~5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
使用圧力範囲(kPa)50~300
応答性6sec
流量制御範囲5~100%FS
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。同時に3台(FMC-1)または4台(FMC-2)コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。
仕様1次圧力: 約0.98MPa(10kg/cm2)MAX、2次圧力: 0~約0.49MPa(0~5kg/cm2)
寸法(mm)280×133×190
タイプ4連式
耐圧(MPa)約0.6(7kg/cm2)
流量(L/min)30(Max、一次圧力)、10(Max、二次圧力)
耐熱温度(℃)60MAX
対象ガスAr・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類
アズワン品番1-3167-02
接続チューブ外径Φ6mm<流量計>
流量10L/minMAX
1台
¥140,000
税込¥154,000
当日出荷
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
質量(kg)1.45
電源(V)AC100
出力電圧(V)0~5 DC(設定0.25~5 DC)
接続1/4in.SWL相当
表示形式(流量設定/出力)スケーリング表示
端子(背面)AC100Vおよび0~5VDC入出力電圧モニター
入出力アナログ信号(0~5VDC)
表示切替(設定/出力)トグルスイッチ
He、H2、N2、Air、O2、CO2、5%CH4/Ar、Arの8種類のガスで校正されています。直読ができ、キャリアーガスによる換算は必要ありません。
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
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