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フタ・本体間の遮断を2重化し、パーティクルの進入を防止します。 主要部分には導電化材料を使用しています。 本体とトップフランジ部の取り付け部分を補強しています。
寸法D1(mm)44 アズワン品番2-5136-01 収納枚数(枚)26 溝ピッチ(mm)10 ウェハー径(Φmm)300
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