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環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。

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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

KML502のマニホールド増連の連結に必要なジョイナセットです。

高分子分離膜を使用したエアドライヤです。空気圧源に直結するだけの手軽さです。電気を一切使用せず膜の分離機能のみで、湿潤空気から水分を除去し、乾燥空気として供給します。オゾン層を破壊しないノンフロンドライヤです。最高使用圧力1.5MPa で、幅広い用途に使用できます。可動部がないため、長期にわたりクリーンな乾燥エア供給が可能です。振動・排熱・電源ノイズ・衝撃音・発塵など、従来のエアドライヤが持つ不快な要素を排除しました。

高分子分離膜を使用したエアドライヤです。空気圧源に直結するだけの手軽さです。電気を一切使用せず膜の分離機能のみで、湿潤空気から水分を除去し、乾燥空気として供給します。大気圧露点-15℃、パージ率10%の省エネ除湿で、ランニングコストを低減します。オゾン層を破壊しないノンフロンドライヤです。可動部がないため、長期にわたりクリーンな乾燥エア供給が可能です。振動・排熱・電源ノイズ・衝撃音・発塵など、従来のエアドライヤが持つ不快な要素を排除しました。

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。IO-Link対応により装置のIoT化に貢献します。パラメータやイベントデータの伝送ができ、予知保全が可能で、圧力の見える化、集中管理に最適です。2画面表示によるダイレクト設定が可能です。現在圧力をメイン画面、設定圧力をサブ画面に表示し、現在圧力を見ながらサブ画面で設定圧力を変更できます。従来品より、通常時で14%の電力を削減しました。エコモードを使うと最大で50%の削減が可能です。複数使用時にマスタ1つを設定すると、残りはコピー機能で設定をコピーすることが可能です。工数低減と設定ミスを防止します。省スペースで密着取付けが可能です。変動する圧力の最大値と最小値を2画面を使用して表示します(ピーク・ボトムホールド機能)。

アブソデックスAX1R、AX2R、AX4Rシリーズ用の部品です。