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クランプ、圧入等の短ストローク用途に最適な極薄形コンパクトシリンダが、さらに省スペース化されて生まれたのがスーパーコンパクトシリーズです。特に、検出スイッチを本体ボディの溝にスッキリ埋め込む設計で、従来のスイッチの出張りを解消。スイッチなしの場合と占有スペースは同一です。

一般形シリンダの中で中口径(Φ20～40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。●シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。●シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。

M.メタル軸受。・高精度・高剛性・省スペースを実現した用途多彩な先端アクチュエータ。

シンプルデザイン、全長寸法が短い、取付作業が容易

シリンダスイッチをボディに一体収納し、シリンダの全長を究極にまで短くした角形、省スペースシリンダです。ロッド先端にめねじを設置しており外部取り付けが可能です(おねじタイプもあります)。全チューブの内径に全シリーズ超小形の無接点・有接点スイッチの取り付けが可能です(耐熱型は除く)。六角穴付きボルトでダイレクトに設置が可能(通しボルト・ねじ込の両方の取り付けが可能)です。

M.メタル軸受。・高精度・高剛性・省スペースを実現した用途多彩な先端アクチュエータ。

シリンダスイッチ溝を4面全てに配置、豊富なストローク設定、選べる取付方法

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

横荷重や偏芯荷重に強い製品にするために、ガイドロッド軸受部を改良するとともに、メタル軸受材料を変更しました。 従来品に比べ耐荷重性能が向上し、さらに安定作動も実現しました。 シリンダ本体の剛性はそのままに、アルミボディ形状を見直し、軽量化、省資源化を実現しました。 ピストンロッドの取付は六角レンチで行えるため、メンテナンス時に特殊な工具は不要です。 エンドプレートは、平面研削を行い、治具を取り付きやすくしています。 エア配管は2方向で配管処理がしやすく、取付方向は3タイプ用意しました。 小形のT形シリンダスイッチを搭載したモデルでは、取付時のスイッチの出っ張りを解消し、省スペース化を図りました。

屋外で使用可能なエアシリンダです。(チューブ内径：Φ40～100)。低温対策としてパッキン、グリス材を変更し、-20℃でも使用可能です(ただし、エアクッション付きの場合は、-10～60℃となります)。屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。錆び対策として、タイロッド・ピストンロッド・ロッドナット材質をステンレスにしました。耐環境仕様として、粉塵等の入り込みを防止するため、スクレーパを内蔵しています。