1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
接続口径Rc1/2
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
圧力±5%F.S.以内(圧力特性)(-0.09~0.7MPa、0.35MPa基準)(乾燥空気にて)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス
流れ方向片方向
RoHS指令(10物質対応)対応
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
積算流量表示範囲(L)0~±9999999L
配管方向ストレート
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(アルゴン+炭酸ガス)
流れ方向片方向
RoHS指令(10物質対応)対応
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
接続口径Rc1/2
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
圧力±5%F.S.以内(圧力特性)(-0.09~0.7MPa、0.35MPa基準)(乾燥空気にて)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス
流れ方向双方向
RoHS指令(10物質対応)対応
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
積算流量表示範囲(L)0~±9999999L
配管方向ストレート
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(アルゴン+炭酸ガス)
流れ方向双方向
RoHS指令(10物質対応)対応
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(アルゴン+炭酸ガス)
流れ方向片方向
RoHS指令(10物質対応)対応
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。
用途設備や塗装エアの消費流量管理。
加圧下で酸素濃度を測定できる酸素濃度計です。耐圧構造で、大気圧から1.0MPa までの圧力下で使用可能です。ガス精製システムにインライン接続できるため、酸素濃度の常時監視が可能となり、システムの異常や保全時期の把握などにも役立ちます。従来必要だったガスパージは不要です。モジュラー構造のため省スペース配管で、メンテナンスも容易です。窒素ガス精製ユニットNSシリーズやF.Rユニットにも接続可能です。酸素・不活性ガス濃度表示が切り換え可能です。100-酸素濃度で、不活性ガス濃度を表示します。食品製造工程でも安心・安全にご使用いただけるFPシリーズです。
用途酸素もしくは窒素濃度の確認に
仕様EMC指令:EN61326-1、保存周囲温度、湿度:-10 ~ 60℃、80%RH 以下(結露なきこと)、周囲温度、湿度:0 ~ 50℃、80%RH 以下(結露なきこと)
質量(kg)1.6
測定範囲0.00~25.00(% O2)
保護構造IP65 相当
消費電力(W)10 以下
電源電圧24V DC± 15%(ACアダプタ使用時:AC100V~ AC240V)
最大流量(L/min)(ANR)500
使用圧力(MPa)0~1.0
精度± 0.05% O2 ± 1digit(0.00 ~ 1.00% O2 の場合)/± 0.10% O2 ± 1digit(1.01 ~ 2.50% O2 の場合)/± 0.5% O2 ± 1digit (2.51 ~ 10.00% O2 の場合)/± 1.0% O2 ± 1digit (10.01 ~ 25.00% O2 の場合)
測定方式ジルコニア固体電解質方式
抵抗(Ω)アナログ出力負荷:0 ~ 400
表示酸素濃度表示、窒素濃度表示(100 -酸素濃度)切替可能
アナログ出力4 ~ 20mA 電流出力(0.00 ~ 25.00% O2 に対して)
使用流体窒素富化圧縮空気
応答時間90%応答 20s以内
出力容量スイッチ:24V DC、1A
流体温度(℃)0 ~ 50(結露なきこと)
出力確度アナログ:0.064mA/0.1% O2
耐圧力(MPa)1.5
RoHS指令(10物質対応)対応
スイッチ出力設定値および検知素子異常:1ヶ(リレー出力)
サンプリング方式自然拡散式
設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
仕様【KML60-4】(スイッチング水位)10~1000mm/ユーザー任意接点4点
電源電圧【KML60-4】DC12~24V ±10% 電圧リップル率 5%以下
チューブ長さ(m)5以下
スイッチ出力【KML60-4】NPNオープンコレクタ4点(DC28V 80mA 以下)
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