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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

複動・片ロッド形

一般形シリンダの中で中口径(Φ20～40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。 シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。 シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。

一般形シリンダの中で中口径(Φ20～40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。 シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。 シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。

一般形タイロッドシリンダの中口径(Φ32～Φ100)シリーズです。有害物質を排除した環境対応型シリンダです。給気・排気ポートとクッションニードルを同一面に設置し、シリンダの取付調整等が容易なタイロッド形の汎用シリンダです。シリンダスイッチ検出用マグネットを標準装備し、スイッチの追加取付が可能です。従来タイプよりも小形のT形スイッチを搭載し、取付時のスイッチ出っ張りを解消し、省スペース化に貢献します。(スイッチ付のみ)。シリンダの全長を従来に比べ、最大40mm短くし、設置スペースを小さくしました。落下防止形・回り止め形・強力スクレーパ形などのバリエーションが豊富です。強力スクレーパ形やスパッタ付着防止形などのスクレーパ内蔵に関する機能については標準形と同一寸法で、設置性を向上しました。

一般形シリンダの中で中口径(Φ20～40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。 シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。 シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。

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一般形シリンダの中で中口径(Φ20～40mm)のシリーズで、無給油・高耐食・長寿命なシリンダです。●シリーズオプションがジャバラ付、ロッド材質変更など様々なオプションが豊富なカシメタイプのシリンダです。●シリンダチューブにステンレス材を使用し、耐食性を高めたシリンダです。

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一般形タイロッドシリンダの中口径(Φ32～Φ100)シリーズです。有害物質を排除した環境対応型シリンダです。給気・排気ポートとクッションニードルを同一面に設置し、シリンダの取付調整等が容易なタイロッド形の汎用シリンダです。シリンダスイッチ検出用マグネットを標準装備し、スイッチの追加取付が可能です。従来タイプよりも小形のT形スイッチを搭載し、取付時のスイッチ出っ張りを解消し、省スペース化に貢献します。(スイッチ付のみ)。シリンダの全長を従来に比べ、最大40mm短くし、設置スペースを小さくしました。落下防止形・回り止め形・強力スクレーパ形などのバリエーションが豊富です。強力スクレーパ形やスパッタ付着防止形などのスクレーパ内蔵に関する機能については標準形と同一寸法で、設置性を向上しました。

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一般形タイロッドシリンダの中口径(Φ32～Φ100)シリーズです。有害物質を排除した環境対応型シリンダです。給気・排気ポートとクッションニードルを同一面に設置し、シリンダの取付調整等が容易なタイロッド形の汎用シリンダです。シリンダスイッチ検出用マグネットを標準装備し、スイッチの追加取付が可能です。従来タイプよりも小形のT形スイッチを搭載し、取付時のスイッチ出っ張りを解消し、省スペース化に貢献します。(スイッチ付のみ)。シリンダの全長を従来に比べ、最大40mm短くし、設置スペースを小さくしました。落下防止形・回り止め形・強力スクレーパ形などのバリエーションが豊富です。強力スクレーパ形やスパッタ付着防止形などのスクレーパ内蔵に関する機能については標準形と同一寸法で、設置性を向上しました。

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