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設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

水・空気・ガス・油など多種類の流体を制御するマルチレックスバルブの防爆仕様です。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化したパイロット式5ポート弁(電磁弁)の高機能タイプです。主弁の摺動機構を極め、低摺動・長寿命を実現しました。また、放置応答性も向上し、休み明けでもスムーズに始動し月曜病やチョコ停対策にも有効です。耐久回数は1億回(シングルソレノイド、メーカー規定条件による)です。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました(標準品：0.35W、低発熱・省電力回路付：0.1W)。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。オプション『H』を選択いただくと、誤動作を防ぐ【排気誤作動防止弁】を内蔵します。排気時の空気の逆流を防ぎ、シリンダの誤作動を防止します。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。