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チューブ内径分フルに流用を流せます、難熱性樹脂を標準採用、チューブと継手のシールはV型形状パッキンを採用、軽い力で挿入でき確実にシールします

エアフィルターとレギュレータをコンパクトに一体化しました。空気中のドレン・ダストを除去し、圧力を調整します。新素材エレメント採用で高性能です。

エアフィルターとレギュレーターをコンパクトに一体化

フィルター・レギュレータ・ルブリケータの3点を一体化した省スペースタイプです。ボディーに圧力計を埋め込み、スッキリしたデザインにすると同時に安全性を確保しました。部分的に破損した時は該当部分の交換のみで対応可能です。小形・大流量のFRL2000シリーズです。面間寸法50mmでコンパクトです。新素材エレメント採用で高性能です。

ダストや水滴を効率的に除去

フィルターとレギュレータを一体化

フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタです。独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。メンテナンス時期を容易に判断するため、透明ケースを採用し、エレメントの汚れを目視確認できるようにしました。禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。

シリンダスイッチ溝を4面全てに配置、豊富なストローク設定、選べる取付方法

フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタです。独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。メンテナンス時期を容易に判断するため、透明ケースを採用し、エレメントの汚れを目視確認できるようにしました。禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタ(ステンレスボディ)です。独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。

フィルターとレギュレータを一体化

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

シンプルデザイン、全長寸法が短い、取付作業が容易

屋外で使用可能なエアフィルタです。低温での使用が可能で、最低周囲温度はー20℃から対応します。屋外想定試験である促進対候性試験を1000時間(3年加速相当)、複合サイクル試験を960時間(7年加速相当)、オゾン暴露試験を400時間、クリアしました。カバーやゲージプラグをオールメタル化、レンズを強化ガラス仕様とし、耐候性を向上しました。様々な屋外機器を用意しており、システムとして提案が可能です。