インライン形クリーンフィルタ FCS500シリーズ ステンレスタイプ
フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタ(ステンレスボディ)です。
独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。
中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。
同一容積の平膜式に比べ、3~10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。
- 用途
- クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
- 仕様
- 構造:ステンレス材料使用/処理:禁油処理 材質制限:なし
- 質量(g)
- 100
- 使用圧力(MPa)
- -0.095~1.5(圧縮空気)、-0.095~0.99(窒素ガス)
- 材質(ケース)
- ステンレス
- 使用流体
- 圧縮空気、窒素ガス(N2)
- 材質(ボディ)
- ステンレス
- 耐圧力(MPa)
- 2.25(圧縮空気)、1.5(窒素ガス)
- 周囲温度および使用流体温度(℃)
- 5~45
- 材質(エレメント)
- ポリプロピレン+ウレタン
- 特性
- (組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
- 耐差圧(MPa)
- 0.5
- 洗浄
- 脱脂洗浄
- 内容量
- 1個
注意
※アブソリュートフィルタ(絶対ろ過度)としては使えません。異物を極端に嫌う用途(ウェハーへの直接ブローなど)には使用しないでください。※一次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量です。
空圧補器 の新着商品
カテゴリ



商品レビュー
よくあるご質問(FAQ)
- 質問:
- 役立つ情報などございますか
- 回答:
- 下記のタイトルの内容でお役に立てるなら、URLのリンク先ご確認ください。
エアフィルターの種類と特長
豆知識URL:
https://www.monotaro.com/s/pages/cocomite/176/
2022-07-26




























