3M BMF技術を応用した極細繊維不織布を使用。高流量の処理が可能。
不織布からフィルターカートリッジまで自社工場内で一括管理。精度・品質のバラツキを抑制し、安定したろ過が可能。
ポリプロピレン製等メルトブロー不織布をろ材に使用。幅広い耐薬品性、繊維の流出が少ない、幅広い用途に使用可能。
油剤、接着剤を含まないクリーンな構造。低溶出で高純度薬品に使用可能。
用途CMPスラリー、各種研磨粒子、誘電体スラリー
カラーレジスト、顔料、インク
材質ポリプロピレン(メディア、コア)、ポリエチレン(ガスケット)
最高使用温度(℃)80
推奨交換差圧(MPa)0.14~0.21
3M BMF技術を応用した極細繊維不織布を使用することで、高流量の処理が可能。
不織布からフィルターカートリッジまで自社工場内で一括管理することで、精度・品質のバラツキを抑制し、安定したろ過が可能。
ポリプロピレン製等メルトブロー不織布をろ材に使用。幅広い耐薬品性、繊維の流出が少ない、幅い広い用途に使用可能。
油剤、接着剤を含まないクリーンな構造で低溶出で高純度薬品に使用可能。
用途CMPスラリー、各種研磨粒子、誘電体スラリー
カラーレジスト、顔料、インク
材質ポリプロピレン
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