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薄型アライメントステージ神津精機￥699,800税込￥769,780
1台
23日以内出荷
テーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)130耐荷重(N)196(20kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイドXY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング有効移動範囲(mm)XY：±5移動量(°)θ：±5分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)最高速度(mm/s)XY：10 : Half 20kpps最高速度(°/s)θ：6.74 : Half 20kppsロストモーション(mm)XY：≦ 0.002ロストモーション(°)θ：≦ 0.005真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1繰返し精度(μm)XY：≦±0.5(位置決め)再現性(度)θ：≦ 0.001バックラッシュXY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°振れ(μm)θ：≦5/±5°偏心θ：≦3μm/±5°モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY：0.1自重(kg)4.5使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)タイプステージ結線:V3(3軸共通)センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
薄型アライメントステージ神津精機￥439,800～税込￥483,780～
1個
23日以内出荷
種類xyステージ/傾斜ステージ送り方式ボールねじ・リード1mm材質(本体)アルミ合金仕上白色コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
