「3軸ステージ」の検索結果
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テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)130
耐荷重(N)196(20kgf)
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイドXY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング
有効移動範囲(mm)XY：±5
移動量(°)θ：±5
分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)
分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)
最高速度(mm/s)XY：10 : Half 20kpps
最高速度(°/s)θ：6.74 : Half 20kpps
ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002
ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1
繰返し精度(μm)XY：≦±0.5(位置決め)
再現性(度)θ：≦ 0.001
バックラッシュXY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°
振れ(μm)θ：≦5/±5°
偏心θ：≦3μm/±5°
モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY：0.1
自重(kg)4.5
使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)
コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)
タイプステージ結線:V3(3軸共通)
センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
1台
￥699,800
税込￥769,780
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