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接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7～40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
耐食型油回転真空ポンプ用でインライン型のケミカルタイプです。
動画あり
油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集します。捕集したオイルを自動的に真空ポンプ内へ回収出来ます。配管接続型です。
対応機種GCD-136X/201X
1個(1個)
￥50,980
税込￥56,078
翌日出荷
RoHS
真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです
修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです
用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
動画あり
用途大学・研究機関での検査・実験装置の低真空測定に、分析装置・理化学機器の低真空測定に
セット内容測定子、測定子ケーブル5m、検出ユニットGP-H
材質(本体)測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)AC100～240
出力【レコーダー】0-1mV/非線形出力
測定範囲(Pa)0.4～2700
電源(VA)10
圧力測定範囲(Pa)0.4～2700
動画あり
接ガス部には油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。加圧専用タイプもあります。自動復帰型サーマルプロテクタ内蔵による安全設計。大気圧からの作動が可能。
用途自動機等の真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。樹脂等の脱気。
高さ(mm)231
周波数(Hz)50/60
規格TUV認証取得品
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
寸法C(mm)6
材質SUS304
形状ブランクフランジ
接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。
有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
耐薬品性に優れて、しかも高真空。
小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。
長寿命で、メンテナンスも容易。
用途医療機器、分析機器、理化学機器。
各種実験用真空源。
使用温度範囲(℃)0～40
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)1000
主な用途医療機器、分析機器、理化学機器。各種実験用真空源。
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。漏れ検査のあらゆる場面で、活躍します。わずかな漏れも見逃さない5L/secのヘリウム排気速度で、ワイヤレスコントローラで40m先からも操作可能です。
用途配管や部品など各種部品の漏れ検査、真空装置の気密性検査、自動車部品・空調部品・熱交換器部品の製品検査 食品・医薬品などのパッケージ密閉性検査、ヘリウム・水素の流量・透過量の計測
仕様【最大接続圧力】1200 Pa、【最小可検リーク量(4He)】< 5×10-13 Pa・m3/sec
セット内容本体(901W1)、メンブレン型校正リーク(CLM-08F)、クランプ、パッキン、ブランクフランジ、電源ケーブル、タブレット、専用スタンド、コントローラケーブルセット(2m)、スニッファーAS9ユニット(10mケーブル付)、真空アングルバルブ(VLH-SB025KF)、クランプ(真空アングルバルブ用)、パッキン(真空アングルバルブ用)、取扱説明書、収納ケース
形状テストポート：NW25(ISO)
質量(kg)約33(約46)(フロアーカート付)
タイプポータブル
適合規格CE、IP30
排気速度(50/60Hz)(L/min)【粗引きポンプ】油回転：30/36
入力電圧(V)100-120
寸法(cm)60×75×55(ケース含)
表示範囲【リーク量】4He：0.01×10-12～10-3 Pa・m3/sec、2H2：0.01×-8～10×-5 Pa・m3/sec
排気速度【テストポート】(4He)：5 L/sec、【主排気ポンプ】ターボ分子ポンプ：31 L/sec
消費電力(VA)600
検知ガス4He、2H2
サービス分類レンタル
ユーザビリティ向上：パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05～100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。
用途太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。大気圧からの広帯域の真空測定に。各種分析装置
トラスコ品番560-8176
セット内容SW100/SWP16、表示器ISG1、測定子ケーブル5m、電源ケーブル3m(SW100-ISG1-100Vのみ)
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
フランジ取合い：NW16
電源電圧(V)AC100～240
測定圧力0.05～100000(Pa)
測定子SWP-16
1セット
￥189,800
税込￥208,780
当日出荷
材質NBR
RoHS指令(10物質対応)対応
真空ポンプ油の逆流防止用(逆流防止機構未対応機種用)オプション部品です。
トラスコ品番152-5592
適合機種G-5DA、G-10DA、G-20DA、G-25SA、G-50DA
1個
￥4,398
税込￥4,838
当日出荷
G-101D、G-101S、GHD-031A、GHD-031B、GLD-040、GLD-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A用オイルキャップです。
トラスコ品番152-3933
適合機種G-101D、G-101S、GHD-031A、GHD-031B、GLD-040、GLD-051、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA、GLD-202BB、GLD-280A
材質PPS
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥1,798
税込￥1,978
当日出荷
GLD-136/GLD-201他。用オイルドレーンプラグです。
トラスコ品番152-5570
適合機種GLD-136/GLD-201他
材質金属製
RoHS指令(10物質対応)対応
1個
￥2,698
税込￥2,968
当日出荷
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。
成膜中の温度特性に優れる
レート安定性が良いので、より長い時間使用可能
シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい
水晶板の入替作業時間を大幅に短縮
CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
仕様●発振周波数：6MHz●電極材質：Au(金)●電極表面：標準仕上げ●外径寸法：Φ14●対応成膜コントローラ：CRTMシリーズ全般●用途：メタル膜、光学膜●塔載可能センサ：CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数：12枚1組
アズワン品番67-6870-71
1組(12枚)
￥19,980
税込￥21,978
33日以内出荷
適合機種※OMT-100A、OMI-100を取り付ける際に必要 G-20DA、-50DA、-50SA、GLD-040、-051、GLS-051、GHD-031A
1個
￥7,298
税込￥8,028
翌々日出荷
動画あり
フィルタエレメントのみ交換可能です。
低負荷用：連続吸入圧：10kPa以下、高負荷用：連続吸入圧：100kPa以下でご使用ください。
オイルミストトラップは油回転真空ポンプの油煙を取り除きます。
用途油回転真空ポンプの油煙の取り除きに
材質本体：SS製、フィルタ：グラスウール
動画あり
目盛は絶対圧力を示すMpa単位目盛で表示されています。
取付ねじR1/4
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
仕様サーマルプロテクタ付
幅(mm)388
質量(kg)37
高さ(mm)274
奥行(mm)523.6
電圧(V)200
電源AC
吐出口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
吸込口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
アルカリ性溶剤、塩酸・酢酸などに対する耐食性に優れ、特殊な溶液あるいは特殊なガスを吸う真空引に最適なポンプです。
仕様吸入口：KF-25
到達圧力(Pa)0.67 ※ガスバラスト バルブ付(バルブ開放時：6.7)
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプで、自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計です。
ダイアフラム型ドライ真空ポンプを内蔵したアスピレーターです。ロータリーエバポレーター、遠心エバポレーター、真空ろ過等の減圧に最適です。
仕様●到達圧力：6.6kPa(-94.7kPa)●圧力調節：ニードルバルブ ブルドン管真空計付●捕集びん：450mL
質量(kg)8
寸法吸気口：外径9mmΦ
電源(V)AC100 0.12kA 50/60Hz
大きさ178×300×311mm
排気速度12L/分(50Hz)
1個(1個)
￥94,980
税込￥104,478
8日以内出荷
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
組込の用途には、振動や衝撃の伝達緩和用に防振ゴムをご使用ください。
RoHS指令(10物質対応)対応
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。
長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
仕様●排気速度(L/min)：60/72(50/60Hz)●到達圧力(kPa)：3.32●吸気口径(OD)×(ID)mm：14×9●サーマルプロテクター内蔵●電源：1Φ200V 50/60Hz●サイズ(mm)：156×358×238●重量(kg)：19●接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)●※アンローダーバルブ(ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気を素早く導入し、ポンプヘッドと外側の差圧を無くす機構です)を内蔵。●原産国：日本
アズワン品番67-4507-12
1台
￥189,800
税込￥208,780
93日以内出荷
低振動・低騒音です。
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)
種類真空計
電圧(V)DC20～28
出力DC0-10V
表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)
電源電圧(V)100～240
取合フランジNW25
豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプです。
モーター直結型で小型で大きな排気速度が得られます。
寸法(mm)130×203×159.5
質量(kg)4.5
電源(V)AC100/40W
排気速度(L/min)5/6(50/60Hz)
到達圧力(Pa)100
吸入口径(Φmm)12
保護装置サーマルプロテクタ内蔵(過電流)
排気方式1段
1個
￥65,980
税込￥72,578
7日以内出荷