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動画あり
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
動画あり
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
動画あり
大排気量でコンパクトサイズ。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
全圧力帯での連続運転が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
質量(kg)12
電源AC
到達圧力(Pa)10000
排気速度(50/60Hz)(L/min)180/200
吐出口径Rc3/8
吸込口径Rc3/8
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
モータ直結型で小型・軽量。取扱いが簡単でラボにぴったり。サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。高真空が得られる2段排気方式です。持ち運びが簡単。装置組込用としても最適です。
使用油SMR-100
使用可能雰囲気温度(℃)7～40
マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ
自動復帰型サーマルプロテクら内蔵による安全設計
大気圧からの作動が可能
シンプル構造で、メンテナンスが容易
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
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