小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
使用温度範囲(℃)7~40
ポンプの種類油回転
接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7~40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
関連キーワード