メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量:1.5kVA
質量(kg)42
到達圧力(Pa)4.0×10^-2
ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ:833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ:200L/min
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
モータ直結型で小型・軽量。取扱いが簡単でラボにぴったり。サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。高真空が得られる2段排気方式です。持ち運びが簡単。装置組込用としても最適です。
使用油SMR-100
使用可能雰囲気温度(℃)7~40
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