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カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。大きな排気速度を有していますが、消費電力が低く環境にやさしい真空ポンプです。また、寿命試験では18000時間をクリアした長寿命配慮となっています。(DOP-300SA実機試験による)

ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。 接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。 サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。 シンプル構造でメンテナンスも容易です。