小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。
有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
耐薬品性に優れて、しかも高真空。
小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。
長寿命で、メンテナンスも容易。
用途医療機器、分析機器、理化学機器。
各種実験用真空源。
使用温度範囲(℃)0~40
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)1000
主な用途医療機器、分析機器、理化学機器。各種実験用真空源。
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
使用温度範囲(℃)7~40
ポンプの種類油回転
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