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コンパクトで移動が容易です。振動の少ない直結型油回転真空ポンプ(防振ゴム付き)を使用していますので、振動がほとんどありません。取り扱いや保守点検が容易で実験用に適しています。
到達圧力(Pa)7.0×104
寸法(mm)350×320×461
バルブ【メイン】25Aバタフライバルブ/【三方】10A三方バルブ
電源(V)AC100(50/60Hz)0.63kVA
仕様【油拡散ポンプ】50L/sec、【油回転ポンプ】20L/min
メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量：1.5kVA
質量(kg)42
到達圧力(Pa)4.0×10^-2
ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ：833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ：200L/min
動画あり
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
動画あり
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
動画あり
マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、真空排気装置、電子顕微鏡のバック、半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器
幅(mm)170
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ、クライオポンプ排気系のバックポンプ、メカニカルブースターポンプのバックポンプ、ロードロック室排気、吸着搬送、ハンドリング、レーザーガス循環・排気用、真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
仕様異電圧対応可(お問い合せください)
トラスコ品番850-9583
幅(mm)190
高さ(mm)310
奥行(mm)437
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)266
排気速度(50/60Hz)(L/min)100/110
吐出口径KF-16
吸込口径KF-16
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
1個
￥289,800
税込￥318,780
翌々日出荷
ダイアフラム(ゴム等の薄膜)の運動を利用する真空ポンプで、油を使用しないためにメンテナンスが容易で、オイルミストが発生しません。1段排気方式(型式-S)は排気速度が大きく、一方の2段排気方式(型式-D)は高い真空度を作り出せます。サーマルプロテクタ(過電流保護装置)内蔵しています。
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
電圧(V)100
電源AC
騒音値(dB(A))(50/60Hz)-
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
小型、軽量、低価格
サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮
シンプルな構造でメンテナンスも容易
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機
使用温度範囲(℃)7～40
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
仕様サーマルプロテクタ付
幅(mm)388
質量(kg)37
高さ(mm)274
奥行(mm)523.6
電圧(V)200
電源AC
吐出口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
吸込口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
モータ直結型で小型・軽量。取扱いが簡単でラボにぴったり。サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。高真空が得られる2段排気方式です。持ち運びが簡単。装置組込用としても最適です。
使用油SMR-100
使用可能雰囲気温度(℃)7～40
DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。
マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。
ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。
ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。
用途分析機器、CVD装置に、真空乾燥器、凍結真空乾燥器、Heリークテスト、CO2ガスレーザー、真空脱泡、真空熱処理、液晶注入
トラスコ品番129-8772
幅(mm)167
質量(kg)11
高さ(mm)130
奥行(mm)410
電圧(V)100-120/200-240
電源AC
到達圧力(Pa)0.04
排気速度50m3/h
吐出口径VF-40
吸込口径VG-40
ポンプの種類油回転
1台
￥439,800
税込￥483,780
60日以内出荷
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー：鋳鉄、ポンプケース：アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプです。
モーター直結型で小型で大きな排気速度が得られます。
寸法(mm)130×203×159.5
質量(kg)4.5
電源(V)AC100/40W
排気速度(L/min)5/6(50/60Hz)
到達圧力(Pa)100
吸入口径(Φmm)12
保護装置サーマルプロテクタ内蔵(過電流)
排気方式1段
1個
￥65,980
税込￥72,578
7日以内出荷
動画あり
低音低振動です。
ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。
仕様(オイル使用)SMR-100(付属)
質量(kg)5
サイズ130×203×159.5mm
タイプ二段式
電源(V)単相100
到達圧力(Pa)6.7
排気速度(50/60Hz)(L/min)(実効)5/6
対応(オイルミストトラップ)OMT-050A
口径(mm)(吸気)12×6((OD)M20×(ID)P1)
アズワン品番1-672-28
オイル量(mL)180
1台
￥79,980
税込￥87,978
当日出荷
低音低振動です。ベルトレスでモーター直結のため装置への組み込みが容易です。
排気速度(50/60Hz)(L/min)60/72(実効)
到達圧力(kPa)9.3(7×10^-2Torr)
吸込口径(Φmm)18×14(M20×P1)
電源(V)100(50/60Hz)
寸法(mm)156×341×199.5mm
使用油SMR-100(付属)
動画あり
コンパクトで持ち運びに便利です。
装置への組み込みにも適しています。
低騒音・低振動です。
質量(kg)4.5
消費電力(W)100V40W
排気速度(L/min)5/6(50Hz/60Hz)
到達圧力(Pa)100
吸気管径(Φmm)O.D.12×I.D.6
対応(オイルミストトラップ)OMT-050A
最大寸法(mm)130(W)×203(L)×159.5(H)
油量(mL)230
使用油SMR-100
アズワン品番64-2326-23
1個
￥63,980
税込￥70,378
8日以内出荷
接ガス部面に表面処理を施したケミカル型の真空ポンプです。化学工業、半導体業界などで使用する特殊なガス、溶剤を扱う真空引きに最適な、耐久性を増したポンプです。
用途濃縮機などの化学機器。半導体製造装置。製薬機械。薬品処理後の乾燥。
仕様耐食型、2段式、サーマルプロテクター内蔵
使用温度範囲(℃)7～40
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
使用油SO-M
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
動画あり
使用温度範囲(℃)7～40
ポンプの種類油回転
接ガス部にPTFEを使用する事で、耐薬品性、耐食性に優れた真空ポンプです。
有機溶媒や腐食性ガスを吸引する用途に最適です。
耐薬品性に優れて、しかも高真空。
小型、省スペース。低騒音、低振動。低消費電力。
長寿命で、メンテナンスも容易。
用途医療機器、分析機器、理化学機器。
各種実験用真空源。
使用温度範囲(℃)0～40
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)1000
主な用途医療機器、分析機器、理化学機器。各種実験用真空源。
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
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