「排気ポンプ」の検索結果
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ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量：1.5kVA
質量(kg)42
到達圧力(Pa)4.0×10^-2
ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ：833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ：200L/min
減圧・加圧両用タイプのダイアフラム型真空ポンプは、吸気口に配管することにより、真空ポンプとして、排気口に配管すれば加圧ポンプとして使用することができます。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
小型、軽量、低価格
サーマルプロテクターを内蔵し、安全面も考慮
シンプルな構造でメンテナンスも容易
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機
使用温度範囲(℃)7～40
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
動画あり
周波数(Hz)50/60
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
動画あり
油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集し、自動的に真空ポンプ内へ回収できるものがオイルミストトラップです。
特に小型真空ポンプは圧力の高いところで使用する場合が多いため、油の飛散により雰囲気を汚す事がありますが、このトラップを取付けることにより解決されます。
用途油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙の捕集。
油回転真空ポンプの排気側取付用部品です
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
動画あり
カップパッキン(特殊樹脂)がシリンダー内を往復運動することにより排気する真空ポンプです。大きな排気速度を有していますが、消費電力が低く環境にやさしい真空ポンプです。また、寿命試験では18000時間をクリアした長寿命配慮となっています。(DOP-300SA実機試験による)
用途真空チャック、真空ピンセット。食品包装機、真空成型機。吸着搬送。自動機等の真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです
修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです
用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
電圧(V)100
電源AC
騒音値(dB(A))(50/60Hz)-
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ、クライオポンプ排気系のバックポンプ、メカニカルブースターポンプのバックポンプ、ロードロック室排気、吸着搬送、ハンドリング、レーザーガス循環・排気用、真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
仕様異電圧対応可(お問い合せください)
トラスコ品番850-9583
幅(mm)190
高さ(mm)310
奥行(mm)437
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)266
排気速度(50/60Hz)(L/min)100/110
吐出口径KF-16
吸込口径KF-16
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
1個
￥289,800
税込￥318,780
翌々日出荷
ゴムの薄膜(ダイヤフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。分析機器、理化学機器。半導体検査装置。デバイス組立。自動機、包装機。
仕様サーマルプロテクタ付
幅(mm)388
質量(kg)37
高さ(mm)274
奥行(mm)523.6
電圧(V)200
電源AC
吐出口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
吸込口径O.D.Φ21mm×I.D.Φ15mm(G1/2)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
接ガス部に油、水などを使用しないドライタイプの真空ポンプです。大排気量でコンパクトサイズです。大気圧から作動が可能です。
用途自動機などの真空吸着搬送。真空包装、印刷機械。吸引機。チップマウンター。
トラスコ品番859-4209
幅(mm)139.5
高さ(mm)167
奥行(mm)255
電圧(V)200-220
電源AC
到達圧力(Pa)8000
吐出口径Rc1/4
2018年トラスコ掲載ページ7 0743
吸込口径Rc1/4
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
1台
￥78,980
税込￥86,878
翌日出荷
大排気量でコンパクトなサイズです。
特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。
油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。
仕様(吸排気管径)Rc1/2
質量(kg)23
サイズ316×434×231mm
電源3Φ200V
到達圧力(kPa)12
速度(実効排気)400/440(L/min)
アズワン品番1-4146-09
1台
￥269,800
税込￥296,780
33日以内出荷
大排気量でコンパクトサイズ!
特殊樹脂製ピストンリングの上下運動を利用して排気を行う揺動ピストン型ドライポンプです。
油を使用していませんので、クリーンな減圧ができます。
仕様(吸排気管径)RC3/8
質量(kg)12
サイズ172×266×235mm
電源1Φ AC100V 50/60Hz
排気速度(L/min)(実効)180/200(50/60Hz)
到達圧力(kPa)10
アズワン品番1-4146-06
1台
￥89,980
税込￥98,978
欠品中
真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです
修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです
用途お客様ご自身でメンテナンスをされる場合に。
騒音値(dB(A))(50/60Hz)0
豊富な実績を持ち、低価格を実現した油回転真空ポンプです。
モーター直結型で小型で大きな排気速度が得られます。
寸法(mm)130×203×159.5
質量(kg)4.5
電源(V)AC100/40W
排気速度(L/min)5/6(50/60Hz)
到達圧力(Pa)100
吸入口径(Φmm)12
保護装置サーマルプロテクタ内蔵(過電流)
排気方式1段
1個
￥65,980
税込￥72,578
7日以内出荷
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプで、自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計です。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプで、自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計です。ピストン構造を生かした加圧専用タイプです。
仕様●到達圧力：―●加圧圧力：0.5MPa(ゲージ圧)●吸/排気口径(メネジ)：外径9mmΦ/内径5mmΦ (Rc1/4)●排気速度(50/60Hz)：80/84L/分
寸法(mm)168.5×288×181
質量(kg)9
電源(V)AC100
1個(1個)
￥99,980
税込￥109,978
7日以内出荷
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
電圧(V)200-277/346-480
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類回転翼形
動画あり
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
自動復帰型のサーマルプロテクタ内蔵による安全設計。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
仕様加圧専用
トラスコ品番850-9584
幅(mm)168.5
質量(kg)9
高さ(mm)181
奥行(mm)288
電圧(V)100
電源AC
排気速度(50/60Hz)(L/min)80/84
全負荷電流(A)5/5.5(50/60Hz)
使用電動機単相、100V、300W、4P、コンデンサ運転
吐出口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)
吸込口径O.D.Φ9mm×I.D.Φ5mm(Rc1/4)
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
1台
￥89,980
税込￥98,978
20日以内出荷
DCブラシレスモータの採用で、負荷に応じた最適な回転速度で運転されることから、大気圧からの真空排気が可能です。
マグネットカップリングの構造により、ポンプ外部への油漏れなしです。
ポンプ内部のシールは、非接触シールを採用し、メカニカルロスを大幅に低減しました。
ドライバーボックス内部の電源切換で、100V系及び200V系で運転が可能です。
用途分析機器、CVD装置に、真空乾燥器、凍結真空乾燥器、Heリークテスト、CO2ガスレーザー、真空脱泡、真空熱処理、液晶注入
トラスコ品番129-8772
幅(mm)167
質量(kg)11
高さ(mm)130
奥行(mm)410
電圧(V)100-120/200-240
電源AC
到達圧力(Pa)0.04
排気速度50m3/h
吐出口径VF-40
吸込口径VG-40
ポンプの種類油回転
1台
￥439,800
税込￥483,780
60日以内出荷
動画あり
大排気量でコンパクトサイズ。
接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計。
大気圧から作動が可能。
全圧力帯での連続運転が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
質量(kg)12
電源AC
到達圧力(Pa)10000
排気速度(50/60Hz)(L/min)180/200
吐出口径Rc3/8
吸込口径Rc3/8
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ピストン形
マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
ダイアフラム(ゴム等の薄膜)の運動を利用する真空ポンプで、油を使用しないためにメンテナンスが容易で、オイルミストが発生しません。1段排気方式(型式-S)は排気速度が大きく、一方の2段排気方式(型式-D)は高い真空度を作り出せます。サーマルプロテクタ(過電流保護装置)内蔵しています。
排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。漏れ検査のあらゆる場面で、活躍します。わずかな漏れも見逃さない5L/secのヘリウム排気速度で、ワイヤレスコントローラで40m先からも操作可能です。本体から独立したタブレット型コントローラの採用しています。真空法はヘリウムの他に水素の検出が可能です。
検知ガス4He、2H2
排気速度【主排気ポンプ】ターボ分子ポンプ31 L/sec、【粗引きポンプ】油回転30/36(50/60Hz)L/min
質量(kg)約33(約46)(フロアーカート付)
消費電力(VA)600
入力電圧(V)100～120または200～240
形状【テストポート】NW25(ISO)
セット内容本体(HELIOT901W1)、タブレット、AC電源ケーブル、コントローラケーブル2mセット(CONT-SET)、タブレット固定用ディスク、スニッファー、スニッファー取付クランプ、Oリング、メクラ蓋、取扱説明書(CD-R)、取扱説明書、収納ケース
仕様【最小可検リーク量(4He)】< 5×10-13 Pa・m3/sec、【リーク量表示範囲】4He：0.01×10-12～10-3 Pa・m3/sec2H2：0.01×-8～10×-5 Pa・m3/sec、【テストポート排気速度(4He)】5 L/sec、【最大接続圧力】1200Pa
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。
長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
仕様●排気速度(L/min)：60/72(50/60Hz)●到達圧力(kPa)：3.32●吸気口径(OD)×(ID)mm：14×9●サーマルプロテクター内蔵●電源：1Φ200V 50/60Hz●サイズ(mm)：156×358×238●重量(kg)：19●接ガス部材質：ポンプヘッド/アルミダイキャスト、吸排気弁/SUS、ダイアフラム/EPDM(エチレンプロピレンゴム)●※アンローダーバルブ(ダイアフラム型ドライ真空ポンプを止めた際、ポンプヘッド内部に大気を素早く導入し、ポンプヘッドと外側の差圧を無くす機構です)を内蔵。●原産国：日本
アズワン品番67-4507-12
1台
￥189,800
税込￥208,780
7日以内出荷
ダイアフラム式のドライ真空ポンプです。100V電源で使用でき、長時間の連続運転に耐え保守も容易です。
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー：鋳鉄、ポンプケース：アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
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