コンパクトで移動が容易です。振動の少ない直結型油回転真空ポンプ(防振ゴム付き)を使用していますので、振動がほとんどありません。取り扱いや保守点検が容易で実験用に適しています。
到達圧力(Pa)7.0×104
寸法(mm)350×320×461
バルブ【メイン】25Aバタフライバルブ/【三方】10A三方バルブ
電源(V)AC100(50/60Hz)0.63kVA
仕様【油拡散ポンプ】50L/sec、【油回転ポンプ】20L/min
メカニカルブースターポンプ・補助ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
仕様(吸気口)VG-40相当、電気消費量:1.5kVA
質量(kg)42
到達圧力(Pa)4.0×10^-2
ポンプ(メイン)メカニカルブースターポンプ:833L/min(at 100Pa)、(補助)油回転真空ポンプ:200L/min
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、真空排気装置、電子顕微鏡のバック、半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器
幅(mm)170
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
清音タイプとなりオフィスや静かな研究室で使っても運転音が気になりません。真空ポンプから漏れ出る油を処理する必要がありません。装置側に油が逆流して装置を汚す心配がありません。異電圧に別作対応です。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器用。真空排気装置、電子顕微鏡のバックに。半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置に。真空乾燥器、凍結乾燥器に。
トラスコ品番701-2270
全長(mm)241.5
電源(V)単相100-120
全幅(mm)470
全高(mm)166
到達圧力(Pa)5.0×10^-1
排気速度(50/60Hz)(L/min)135/162
吸入口径(Φmm)KF25(NW25)
RoHS指令(10物質対応)対応
1台
¥269,800
税込¥296,780
翌々日出荷
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ、クライオポンプ排気系のバックポンプ、メカニカルブースターポンプのバックポンプ、ロードロック室排気、吸着搬送、ハンドリング、レーザーガス循環・排気用、真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
仕様異電圧対応可(お問い合せください)
トラスコ品番850-9583
幅(mm)190
高さ(mm)310
奥行(mm)437
電圧(V)100
電源AC
到達圧力(Pa)266
排気速度(50/60Hz)(L/min)100/110
吐出口径KF-16
吸込口径KF-16
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類ダイヤフラム形
1個
¥289,800
税込¥318,780
翌々日出荷
モータ直結型で小型・軽量。取扱いが簡単でラボにぴったり。サーマルプロテクターを内蔵しており、連続運転も安心です。高真空が得られる2段排気方式です。持ち運びが簡単。装置組込用としても最適です。
使用油SMR-100
使用可能雰囲気温度(℃)7~40
ダイアフラム(ゴム等の薄膜)の運動を利用する真空ポンプで、油を使用しないためにメンテナンスが容易で、オイルミストが発生しません。1段排気方式(型式-S)は排気速度が大きく、一方の2段排気方式(型式-D)は高い真空度を作り出せます。サーマルプロテクタ(過電流保護装置)内蔵しています。
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