マルチレンジユニバーサルモータを搭載し、世界中どこの電圧でも対応できます。
ガスバラスト機構、強制給油機構、油の逆流防止機構などの種々の装備を完備し、CEマーキング自己宣言品、TUV、cTUVus認証取得品となります。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器、真空排気装置、電子顕微鏡のバック、半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置、真空乾燥器、凍結乾燥器
幅(mm)170
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)6.7
吸込口径KF-25
ポンプの種類油回転
直結型油回転真空ポンプ専用のオイルです。寒冷時にも始動性が良いように粘度が低くなっております。G、GVD、GLDシリーズでご使用ください。
適合範囲ポンプ
引火点(℃)200
流動点(℃)-15.0>
危険等級Ⅲ
動粘度(mm2/s)44.6
危険物の類別第四類
危険物の品名第四石油類
密度(g/cm3 at15℃)0.878
色(ASTM)L1.0>
危険物の性状非水溶性
用途蒸着、スパッタリングなどの真空成膜装置に、分析機器、リークテスト装置に、真空乾燥、ガス置換など各種真空装置に
仕様サーマルプロテクタなし
材質シリンダー:鋳鉄、ポンプケース:アルミ鋳物
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
使用油R-7
吐出口径VG-40
特性ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モーターを採用してます。低振動、低騒音で信頼性の高い油回転真空ポンプです。大気圧付近でも排気速度が低下しにくい強制給油方式を採用しています。メンテナンス性に優れた回転翼型ポンプです。
ポンプの種類油回転
大排気量でコンパクトサイズ。
排ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
大気圧からの作業が可能。
シンプル構造で、メンテナンスが容易。
電圧(V)200-277/346-480
電源AC
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類回転翼形
小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。
低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。
取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。
ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。
用途理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。真空排気装置、電子顕微鏡のバック。半導体製造装置。真空蒸着装置、凍結乾燥器。医療用機器全般。
電圧(V)100
電源AC
ポンプの種類油回転
高効率(IE3)マルチ電圧モータを標準搭載しています。空冷方式のため、冷却水不要です。オイルミストトラップ(TM201・TM401)は排気ガスに含まれる油煙をトラップします。
電圧(V)(50Hz)200-240/380-415、(60Hz)200-240/380-460
電源AC
到達圧力(Pa)(G.V.Closed)0.67/(G.V.Open)2
吐出口径VG-40
吸込口径VG-40
ポンプの種類油回転
ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。
サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
シンプル構造でメンテナンスも容易です。
用途吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
分析機器、理化学機器。
半導体検査装置。
デバイス組立。
自動機、包装機。
使用温度範囲(℃)7~40
ポンプの種類油回転
マグネットカップリング構造の採用により、軸シールからの油漏れがなく、長寿命化を実現。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放。
低騒音で低振動。
強制給油機構搭載により、排気速度が安定。
大気圧からの作動が可能。
内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
幅(mm)120
質量(kg)9.3
高さ(mm)163
奥行(mm)288.5
電源AC
到達圧力(Pa)0.67
排気速度(50/60Hz)(L/min)30/36
油量(mL)370
使用油R-2
吸込口径KF-16
ポンプの種類油回転
真空ポンプ用のオイルです(R-2:合成油系/R-7:鉱物油系)。
危険等級Ⅲ
危険物の類別第四類
危険物の品名第四石油類
危険物の性状非水溶性
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