ダイアフラム型ドライ真空ポンプULVAC(アルバック)当日出荷
ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
用途広域型ターボ分子ポンプのバックポンプ、クライオポンプ排気系のバックポンプ、メカニカルブースターポンプのバックポンプ、ロードロック室排気、吸着搬送、ハンドリング、レーザーガス循環・排気用、真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置仕様異電圧対応可(お問い合せください)トラスコ品番850-9583幅(mm)190高さ(mm)310奥行(mm)437電圧(V)100電源AC到達圧力(Pa)266排気速度(50/60Hz)(L/min)100/110吐出口径KF-16吸込口径KF-16ポンプの種類ドライドライポンプ種類ダイヤフラム形