マイクロスタンド、HC-500のXYステージ。ステージサイズΦ100mm。移動量XY共に50mm、Z6mm。傾斜±6°。Θ360°。
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ステージサイズΦ100mm。XY微動各50mm、Z6mm、θ360°調整。
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ステージサイズΦ100mm。XY微動各50mm、Z6mm、傾斜±6°、θ360°調整。
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