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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜・回転ステージです。小型であり薄型であるため、制約のあるスペースや光学系を小さく使用したい場合に有効です。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用XYZ軸ステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。
高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。
上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。
種類Zステージ
送り方式送りネジ
移動ガイドアウターレール構造
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。
小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。
ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。
専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。
クロスローラガイドのXY軸ステージと垂直タイプのZ軸ステージを組合せたステージです。
突起部を省き小スペース型で動作頻度が少なく微細な調整用途に適した、テーブル面が水平な調整用Z軸ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
下板と移動テーブル(上板)に直接ガイドを加工・焼入れ研削し、スチールボールを配列させた、2枚板構成の一体加工型の高精度直線移動ガイドです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラガイドを使用した軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。
主要素材にアルミを使用していますが、移動ガイドにボールガイドを採用しているため、高耐荷重にも優れています。
仕様【<αβ軸大型ゴニオステージ ステージサイズ□120mm>共通仕様】テーブル面サイズ:120×120mm、軸タイプ：αβ軸、移動ガイド：ボールガイド、主要材質：アルミ、表面処理：黒アルマイト、耐荷重：294N(30.0kgf)、許容モーメント荷重/ピッチング：19.6N・m、許容モーメント荷重/ローリング：19.6N・m、許容モーメント荷重/ヨーイング：-、モーメント剛性/ピッチング：-、モーメント剛性/ローリング：-、モーメント剛性/ヨーイング：-、【個別仕様】回転中心高さ:182mm、角度範囲/(上)β軸：±5°、角度範囲/(下)α軸：±5°、バーニア最小読取：1′、ツマミ1回転の移動量/(上)β軸：約0.33°、ツマミ1回転の移動量/(下)α軸：約0.33°、回転中心変位量：Φ0.02mm以下、質量：4.4kg
アズワン品番61-6980-28
1個
￥899,800
税込￥989,780
欠品中
マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロ当てをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。
ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージです。移動ガイドにクロスローラを使用しているため、滑らかな移動が得られます。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
大幅に高さ調整が可能なZ軸調整用のロングタイプのネジ送りステージです。動作頻度が比較的少なく大きく上下移動を要する調整に適してます。
X軸方向調整用のロングストロークタイプのネジ送りステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
焼入れされたスチールステージ製の本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高剛性汎用型ステンレスステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
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