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高剛性一体ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。 上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。

4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。

リニアスケールで使用する製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となっており、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されています。

小型・薄型・高耐久性の3要素を兼ね備えたクロスローラ自動ステージです。

ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

ボールネジとボールガイドを採用した、高精度・耐久性に優れた自動直動ステージです。

ACサーボモータ駆動の高精度・高剛性ステージです。

本体材質にはSUS440C相当、表面処理には無電解ニッケルメッキ処理を施しており防錆に優れています。※マイクロメーターヘッドを固定している部品やマイクロメーターヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

下板と移動テーブル(上板)に直接ガイドを加工・焼入れ研削し、スチールボールを配列させた、2枚板構成の一体加工型の高精度直線移動ガイドです。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。

テコの原理を利用して水平方向のマイクロメーター操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。

高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。

真空環境に対応した自動回転ステージです。Φ60mmの省スペースに対応した小型タイプは、実験用、検査装置のチャンバー内でのご使用に最適です。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。

シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。

V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。

アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ネジ送りタイプの大型直動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式の透過用θ軸(回転)粗微動ステージです。

ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。

アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、細かな調整用途に適したネジ送りステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。

3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。