自動ステージの単軸を購入後、お客様ご自身でXY軸に組合せする場合に使用する専用プレートです。
3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。
マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れたXY軸直動ステージです。
シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。
ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
焼入れされたスチールステージ製の本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高剛性汎用型ステンレスステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
関連キーワード