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粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。

上面のハンドルを回すことで360°(粗動)回転させることが出来ます。ステージ本体に、アルミを採用し軽量化にも最適です。

高剛性一体ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。

テーブル面が角型のユニークな微動回転ステージです。

ラックピニオンで駆動する粗微動調整が可能なアリ溝ガイドのZ軸ステージです。

テーブル面上の試料を、任意の角度に傾き調整やあおり調整をするための傾斜ステージです。

水平面方向のマイクロメーターを操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

V溝ガイドとネジ送り方式を採用したコストパファーマンスに優れたゴニオステージです。ネジ送り機構は接触面積が大きく耐久性に優れています。

粗動360°の回転と微動(マイクロメーターヘッド又はファインピッチスクリューからの選択)が可能なすり合わせ式のθ軸(回転)粗微動ステージです。

本体材質にはSUS440C相当、表面処理には無電解ニッケルメッキ処理を施しており防錆に優れています。※マイクロメーターヘッドを固定している部品やマイクロメーターヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

ウォームギアで駆動させるため360°にわたり精密な調整が可能な回転ステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

焼入れされたスチールステージ製の本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高剛性汎用型ステンレスステージです。

マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。

位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。

アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ネジ送りタイプの大型直動ステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

テコの原理を利用して水平方向のマイクロメーター操作を垂直移動に伝達するZ軸ステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化したZ軸ステージです。

シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。

半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。

高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。

焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度なゴニオステージです。

専用ステージコントローラ(SHOT-302GS/304GS・HIT-M・HIT-S)を使用する事で、高精度で信頼性の高いフルクローズドループシステムを実現する事ができます。