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4軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ・Z軸フラットスチールステージ・θ軸粗微動ステージを組合せたものです。

スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。

ステージ本体とZ軸ブラケットを一体化した軽量なZ軸アルミステージをX軸アルミステージに組合せたステージです。

ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。