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本体にガイドを施し、精密研削ネジを使用した低価格な自動ステージです。
仕様【<ステッピングモータ駆動小型自動ステージ ステージサイズ□40/□60mm>共通仕様】モータタイプ:5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモータ(株))、モータ品番：PK513PB-C9(□20mm)、モータステップ角度：0.72°、センサ電源電圧：DC5～24V±10%、センサ消費電力：TSDM40-15X：40mA以下(1センサ当たり20mA以下)、TSDM60-20X：30mA以下(1センサ当たり15mA以下)、センサ制御出力：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下、センサ出力論理：遮光時：出力トランジスタOFF(非導通)、適応ドライバ：SG-5MA、SG-55MA、SG-514MSC、適応コントローラ：PAT-001、GSC-01、SHOT-102、SHOT-702、GIP-101、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-M・HIT-S、【個別仕様】移動量:15mm、テーブル面サイズ：40×40mm、送りネジ：精密研削ネジΦ5mm、リード0.5mm、移動ガイド：ボールガイド、ステージ材質：鉄、表面処理：スーパーブラッククロム、質量：0.35kg、分解能(Full)：1μm/パルス、分解能(Half)：0.5μm/パルス、MAXスピード：5mm/sec、位置決め精度：20μm、繰返し位置決め精度：10μm、耐荷重：29.4N(3.0kgf)、モーメント剛性/ピッチング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ヨーイング：0.4″/N・cm、モーメント剛性/ローリング：0.4″/N・cm、ロストモーション：10μm、バックラッシ：10μm、平行度：50μm、走り平行度：10μm、ピッチング：20″、ヨーイング：20″、センサ品番：マイクロフォトセンサ：GP1S092HCPI(シャープ株式会社)、リミットセンサ：有(NORMAL CLOSE)、原点センサ：無、近接原点センサ：無
アズワン品番61-6985-49
1個
￥62,980
税込￥69,278
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高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度自動ゴニオステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
半導体ウェハーのマーカなどのアライメントに使用する微小角調整用の自動回転ステージです。
高剛性・高精度に対応した計測、検査用のZ軸ステッピングモータ駆動ステージです。
上下に移動するステージ面は水平で、スムーズな移動が得られます。同社独自の省スペースに配慮した設計により、モータも本体に組込んだコンパクトな水平面Z軸ステージです。突起部分を極力抑えているため装置組込用途にも最適です。
種類Zステージ
送り方式送りネジ
移動ガイドアウターレール構造
テーブル幅(mm)60
テーブル長さ(mm)60
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
高剛性・高精度が求められる計測装置や検査装置の位置決めに最適なステッピングモータ駆動ステージです。
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