種類Xステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式送りねじ
移動ガイドアリ溝
スチールステージTSDシリーズと構造・性能が同等で、クリーンルーム・真空用途に適した直線移動ステージです。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式で、装置組込用途に適したブロックステージです。
メーカーの手動ステージの中で最薄10mmを実現した高剛性に優れた直動ステージです。従来品(TSD)と比較し、ステージ厚さ40%・質量355を削減しました。
リニアスケールで使用する製品は、半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械などが主となっており、多くに分野で欠かせない工程をになう装置に使用されています。
用途プリント配線板などの電子デバイス製造装置、電子部品実装機、工作機械、搬送機械
種類Xステージ
分解能4μm/パルス(Full)・2μm/パルス(Half)
耐荷重(N)392
RoHS指令(10物質対応)対応
移動ガイドクロスローラ
テーブル長さ(mm)165
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、低価格・高剛性・軽量化を実現しました。
アリ溝ガイド・ネジ送り調整方式により、細かな調整用途に適したネジ送りステージです。
種類Xステージ
RoHS指令(10物質対応)対応
送り方式送りねじ
移動ガイドアリ溝
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。ロングタイプは、ステージ面が長方形で、長い移動量を確保したい場合に有効です。※マイクロメーターヘッドを固定している部品やマイクロメーターヘッドの種類によりステージ上面から突出している場合があります。※ステージに取り付ける試料の形状により、固定できない場合や移動量が確保できない場合がありますのでご注意ください。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
アルミを使用した軽量なアリ式ステージです。アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量を確保したい場合に適します。装置組込み等に有効です。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。
アリ溝ガイド・ラックピニオン方式により、動作頻度が比較的多く、早い動きと移動量が必要な場合に適したステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラガイドを使用した軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、軽量で高精度な直動ステージです。
焼入れされたステンレス製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した高精度・高剛性ステンレスステージです。
アルミ製のステージ本体にクロスローラーガイドを使用した、ステージ面が長方形の軽量で高精度な直動ステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
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