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ストローク(X距離)(mm)
  • 0.75(1)
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ストローク(Y距離)(mm)
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テーブル幅(mm)
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  • 50(1)
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  • 70(1)
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種類
  • xyステージ(2)
耐荷重(N)
  • 34.3(1)
  • 39.2(1)
  • 88.2(1)
  • 142(1)
  • 156.8(1)
  • 166.6(1)
  • 176.4(1)
  • 186(1)
  • 196(1)
  • 254.8(1)
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34.3・39.2・88.2・142・156.8・166.6・176.4・186・196・254.8・324
テーブル長さ(mm)
  • 40(1)
  • 50(2)
  • 70(1)
  • 75(1)
  • 100(2)
  • 130(1)
  • 160(1)
40・50・70・75・100・130・160
送り方式
  • ボールねじ(3)
  • 研削ねじ(1)
ボールねじ・研削ねじ
移動ガイド
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  • クロスローラベアリング(1)
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クロスローラ・クロスローラベアリング・リニアガイド
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自動XYステージ 神津精機自動XYステージ神津精機
229,800税込252,780
1台
20日以内出荷から23日以内出荷
種類xyステージRoHS指令(10物質対応)対応
自動XYステージ 神津精機自動XYステージ神津精機
189,800税込208,780
1台
15日以内出荷から23日以内出荷
新製品 低価格・高精度・短納期を実現した『SXステージ』シリーズです。 精密クロスローラガイドを使用したロングストローク自動Xステージです。 クリーングリスを使用しています。 送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。 5相ステッピングモーター使用。 KOSMOSシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。 モーター5本リード線用ケーブルをご使用ください。 2相ステッピングモーター仕様も承ります。
種類xyステージ送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイド精密クロスローラガイド材質アルミ合金白色仕上げ繰返し精度(μm)≦±0.3(位置決め)バックラッシュ≦0.2μmコネクタ形状丸形20ピン (ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)
薄型アライメントステージ 神津精機薄型アライメントステージ神津精機
699,800税込769,780
1台
23日以内出荷
テーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)130耐荷重(N)196(20kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイドXY:精密クロスローラガイド、θ:クロスローラベアリング有効移動範囲(mm)XY:±5移動量(°)θ:±5分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)最高速度(mm/s)XY:10 : Half 20kpps最高速度(°/s)θ:6.74 : Half 20kppsロストモーション(mm)XY:≦ 0.002ロストモーション(°)θ:≦ 0.005真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1繰返し精度(μm)XY:≦±0.5(位置決め)再現性(度)θ:≦ 0.001バックラッシュXY:≦ 1μm θ:≦ 0.005°振れ(μm)θ:≦5/±5°偏心θ:≦3μm/±5°モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY:0.1自重(kg)4.5使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)タイプステージ結線:V3(3軸共通)センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
XYステージ(自動)
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