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70(1)
210(1)
種類xyステージ/傾斜ステージ
送り方式ボールねじ・リード1mm
材質(本体)アルミ合金
仕上白色
コネクタ丸形20ピン(ヒロセ： RP13A-12JG-20PC)
繰返し精密度(μm)XY：≦±0.5
バックラッシュXY：≦ 1μm、θ：≦ 0.005°
ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002
ロストモーション(°)θ：≦ 0.005
小型高性能ステッピングモータと精密研削ネジを組合せた低価格のアクチュエータです。
メーカーの手動ステージやミラーホルダーのマイクロメータヘッドを交換することで自動化できます。
メーカーのステッピングモータコントローラで駆動することができます。
移動量1μm/0.5μm(1パルス)(フルステップ/ハーフステップ)
送りねじ(mm)精密研削ネジΦ4、リード0.5
タイプ5相ステッピングモータ 0.35A/相(オリエンタルモーター(株))
繰り返し位置決め精度(mm)0.003
分解能(μm)0.1(最小応答/参考)
許容荷重(N)29.4(静荷重)
ロストモーション(mm)0.005
モータータイプPK513PB-C9(□20mm)
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