グローブバルブ

NEW MEGA-ONE LA・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。優れた耐久性400万回以上(Φ6.35)ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムシート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LA・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。優れた耐久性400万回以上(Φ6.35)ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムシート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LA NHD・低圧タイプ 高耐久エアオペレーションバルブ・MEGA-ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。高耐久バルブ・高耐久性能を実現。・長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。・3000万回以上。高Cv値・構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。安定した品質・バルブ全数につき、リフト調整及びCv値測定検査を実施。MEGA-ONE・NEW MEGA-ONEと面間を統一(Φ6.35はUJR継手のみ)・既存ラインのグレードアップが可能。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PA(PFA材)・PI(ポリイミド材)もオプション設定しています。高温(使用流体温度)にも対応・シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-MINI HA・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。優れた耐久性40万回以上高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LA・MEGA-ONE LAは、各種半導体装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別できます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。