±60°の広い測定角度
リニアリティ1%の高精度を実現
IP67の高い防水防塵性
ローコストで省スペース
使用温度範囲(℃)-20～+60
保護構造IP67
感度(非検出軸)±50mV以下
使用湿度範囲30～95%RH
出力電流(mA)0.1以下
絶縁抵抗(MΩ)取りつけパネルと端子一括間：100以上(500Vメガ)
直線性1%F.S.以下
保存温度範囲(℃)-30～+70
保存湿度範囲30～95%RH(ただし、60～70℃の場合は30～60%RH)
耐電圧(V)取りつけパネルと端子一括間：1000 1分間(リーク電流1mA以下)
電極間抵抗検知方式
交流検出方式
洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止
洗浄槽内の純水のレベルを検出。 高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。
機能断線検出：あり
『センサ』には他にこんなカテゴリがあります
- エリアセンサ・ライトカーテン
- 近接センサ
- 熱電対・温湿度センサ・照度センサ
- フォト・マイクロセンサ
- 振動センサ/漏液センサ/その他センサ
- エンコーダ
- 光電・ファイバセンサ
- 圧力・流量センサ
- 変位・測長・回転角度センサ
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