商品豆知識
電極間抵抗検知方式
交流検出方式
洗浄装置内の結露や周辺への液漏れを検出
ドレインパンへの液漏れを検出し、装置の破損やウエハの洗浄不良を防止
洗浄槽内の純水のレベルを検出。 高感度による精度の高いレベル制御で洗浄不良を防止。
機能断線検出：あり
『センサ』には他にこんなカテゴリがあります
- エリアセンサ・ライトカーテン
- 近接センサ
- 熱電対・温湿度センサ・照度センサ
- フォト・マイクロセンサ
- 振動センサ/漏液センサ/その他センサ
- エンコーダ
- 光電・ファイバセンサ
- 圧力・流量センサ
- 変位・測長・回転角度センサ
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