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主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
関連資料(7.24MB)
種類漏液センサ
検出対象水
検出方式反射型
保護構造IP67(IEC規格)
電源電圧(V)DC12～24±10%(リップル10%以下)
仕様NC、PPタイプ
関連資料(7.24MB)
1個
￥17,980
税込￥19,778
当日出荷
1個
￥1,298,000
税込￥1,427,800
39日以内出荷
1個
￥94,980
税込￥104,478
23日以内出荷
アンプ内蔵形漏液スイッチHPQ-Dシリーズは、主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において
酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。
材質(本体)PFA、(ケーブル)PFA被覆、(プラケット)PVCもしくはPFA(SUS)
保護構造IP67(IEC規格)
電源電圧(V)DC12～24
消費電流(mA)30以下
関連資料(7.24MB)
1個
￥25,980
税込￥28,578
61日以内出荷
絶縁抵抗(MΩ)100以上(DC500V)
質量(kg)約1.6
取付屋内設置、堅固な柱または壁面取付(垂直確認用水準器付)
作動方式磁石式
カバー色ブルー(日本塗料工業会No.R36-746相当)
取付ねじM6(4個)
取付ピッチ130(W)×130(H)
周囲温度(℃)-10～+50(高湿、腐食性ガス環境での使用を除く)
絶縁耐圧(V/1分間)AC1500
関連資料寸法、仕様情報(1.95MB)
材質コード：PFA被覆
材質(本体)PFA
質量(g)約55
種類漏液センサ
使用温度範囲(℃)-25～50(水結なきこと)
保護構造IP67(IEC規格)
耐電圧AC1000V 50/60Hz 1分間 充電部一括とケース間
検出方式反射形
電源電圧(V)DC10.8～26.4(リップル10%以下)
光源赤外LED(ピーク発光波長940nm)
制御出力開閉電流：50mA以下(抵抗負荷)、出力耐電圧：DC30V、残留電圧：1V以下(開閉電流50mA時)
消費電流(mA)30以下
絶縁抵抗(MΩ)20(DC500Vにて)
保護回路電源逆接続保護回路付き、電源投入時誤動作防止回路付き約(20ms)、出力短絡保護回路
保存温度範囲(℃)-40～70(水結なきこと)
材質(検出面)塩ビ板、ステンレス鋼板
耐衝撃(m/s2)500 X・Y・Z各方向 3回
表示灯正常時：緑色点灯、漏液検出時：オレンジ点灯
耐振動10～55Hz 複振幅1.5mm X・Y・Z各方向 2時間
標準検出物体水
関連資料寸法、仕様情報(7.24MB)
動作形態正常時オン、漏液検出時オフ
使用湿度範囲(%RH)30～85(結露のないこと)
『センサ』には他にこんなカテゴリがあります
- エリアセンサ・ライトカーテン
- 近接センサ
- 熱電対・温湿度センサ・照度センサ
- フォト・マイクロセンサ
- 振動センサ/漏液センサ/その他センサ
- エンコーダ
- 光電・ファイバセンサ
- 圧力・流量センサ
- 変位・測長・回転角度センサ
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