1sec以下の高速応答。流量制御・モニタリングソフト。多種通信ほ方法に対応
用途マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
通信方式(VDC)アナログ:0~5
作動圧力(kpa)(最大)400
電源電圧±15
使用温度範囲(℃)5~50
材質Oリング:FKM
バルブ種類NC
継手接続:1/4F900
RoHS指令(10物質対応)対応
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