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石英ウール 東ソー石英ウール東ソー
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透明石英ガラスを原料としているので極めて高純度のSiO2ウールです。 半導体関係では純度と耐熱を利用し、拡散炉の炉芯管パッキンに使用されています。 耐薬品性からハロゲン用フィルター、ガスクロマトグラフの充填剤としても使用できます。
耐熱温度(℃)1000℃

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