サーモチラー(循環液温調装置)

・ノンフロン・CO2冷媒(R744)対応・GWPを大幅に削減・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可 EU冷媒規制 ：GWP150以上 米国冷媒規制 ：GWP700以上 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能・フロン回収、廃棄コスト不要・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要

1台のチラーで2系統を個別に温調可能省スペース/省配線設置面積22%削減電源系統：1系統でOK省エネルギー省エネ 消費電力30%削減タッチパネルを採用

・ノンフロン・CO2冷媒を採用・GWPを大幅に削減・GWP=1 各国の冷媒規制に対応可 EU冷媒規制 ：GWP150以上 米国冷媒規制 ：GWP700以上 カリフォルニア州冷媒規制 ：GWP750以上 ※GWPは地球温暖化係数を示します。数値はIPCC AR4基準とします。・空輸可能・フロン回収、廃棄コスト不要・フロン排出抑制法に基づく簡易点検不要

DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。