高真空/真空バルブ

仕様【使用圧力】1×10^-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10^-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10^-11常温時・ガス透過を除く材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)接続口径【パイロットポート】Rc1/8質量(kg)5.1フランジ80フランジタイプKF(NW)表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地使用流体不活性ガス系の真空弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)オートスイッチ個数1ケ付インジケータなしパイロット圧力(MPa[kgf/cm²])0.4～0.7オートスイッチ種類D-A93Lパイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYDSMC

￥249,800税込￥274,780

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYCSMC

￥199,800～税込￥219,780～

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80JSMC

￥199,800税込￥219,780

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80H0SMC

￥199,800税込￥219,780

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80DASMC

￥199,800税込￥219,780

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80SMC

￥199,800～税込￥219,780～

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏

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ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-80LSMC

￥219,800税込￥241,780

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ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-80H0SMC

￥219,800税込￥241,780

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ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-80DLH0SMC

￥219,800税込￥241,780

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ面裏

ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-80DSMC

￥219,800～税込￥241,780～

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)操作ポート方向フランジ側

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ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMD-80SMC

￥229,800税込￥252,780

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(NPN)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)操作ポート方向フランジ側

ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMC-80DSMC

￥189,800税込￥208,780

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仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石付)操作ポート方向フランジ側

ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMC-80SMC

￥189,800～税込￥208,780～

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)操作ポート方向フランジ側

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ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMA-80DGSMC

￥179,800税込￥197,780

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-インジケータ付オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石付)操作ポート方向フランジ面：裏インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMA-80AH0SMC

￥189,800税込￥208,780

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-インジケータ付オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ側

ステンレス製高真空L型バルブ XMシリーズ XMA-80SMC

￥179,800～税込￥197,780～

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側

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アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-80LSMC

￥229,800税込￥252,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路なしオートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面裏

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLDV-80DLSMC

￥239,800税込￥263,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)ランプ・サージ電圧保護回路サージ電圧保護回路付オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(NPN)，横取出，リード線3m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)CE-対応品-表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地電磁弁方向フランジ面裏

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80MSMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ面右表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80LH4SMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ面裏表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、100℃用ヒータ付

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80LSMC

￥199,800～税込￥219,780～

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

フランジタイプKF(NW)操作ポート方向フランジ面裏表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし

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アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80KSMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:1ケ付；検出位置:弁開オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(PNP)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)操作ポート方向フランジ面左表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80H5SMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、120℃用ヒータ付

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80H0SMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)操作ポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地オーダーメイド仕様標準温度仕様/ヒータの有無5～150℃、ヒータなし

アルミ製高真空L型バルブ二段制御・単動 XLDシリーズ XLD-80DLH0SMC

￥219,800税込￥241,780

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フッ素に強いアウトガスが少ない重金属汚染が少ない