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ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-25SMC￥55,980～税込￥61,578～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
X Series(XLA)SMC￥31,980～税込￥35,178～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
ZR Series 大型真空ユニット 真空ポンプシステムSMC￥49,980税込￥54,978
1個
23日以内出荷
仕様【取出し方法】リード線：M形プラグコネクタタイプ(リード線長さ0.3m)、【手動操作】ノンロックプッシュ式、【真空切換弁・破壊弁の組合わせ】供給弁：電磁弁(N.C.)/破壊弁：電磁弁(N.C.)ブラケット同梱単位SI単位固定ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能リード線コネクタ付リード線付(5芯リード線、長さ2m)RoHS指令(10物質対応)対応電磁弁定格電圧(V)DC24スイッチ/フィルタ組合わせ真空用デジタル圧力スイッチ(ZSE20A)+フィルタ
ZR100 - 真空ポンプシステム/単体SMC￥28,980～税込￥31,878～
1個
9日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
XYH - ストレート型バルブ/手動/ベローズシールSMC￥169,800税込￥186,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シール材質:(R1) Chemraz SS592、シ-ル材質変更箇所とリーク量:(A) 内部 1.3 x 10^-8，外部 1.3 x 10^-9フランジタイプKF(NW)
XYD - ストレート型バルブ/二段制御・単動/ベローズシール・OリングシールSMC￥84,980～税込￥93,478～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XYC - ストレート型バルブ/複動/ベローズシールSMC￥58,980～税込￥64,878～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
XYA - ストレート型バルブ/常時閉/ベローズシールSMC￥57,980～税込￥63,778～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XSA - XSA(New XSA) 常時閉型高真空電磁弁/継手タイプSMC￥22,980～税込￥25,278～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
XSA - XSA(New XSA) 常時閉型高真空電磁弁/めねじタイプSMC￥21,980～税込￥24,178～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
XMH - L型バルブ/手動/ベローズシールSMC￥47,980～税込￥52,778～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
XMD - L型バルブ/二段制御・単動/ベローズシールSMC￥74,980～税込￥82,478～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XMC - L型バルブ/複動/ベローズシールSMC￥46,980～税込￥51,678～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XMA - L型バルブ/常時閉/ベローズシールSMC￥43,980～税込￥48,378～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
XLS - アルミニウム製 高真空L型バルブ 電磁式 ベローズ圧力バランスSMC￥39,980税込￥43,978
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様制御電源の有無:(-) 制御電源なし、起動電圧:(5) DC24V、リード線取出し:(T) ターミナル、CE対応:(Q) CE対応CE-対応品CE対応品バルブサイズKF16起動電圧DC24V
XLH - アルミニウム製 高真空L型バルブ 手動/ベローズシールSMC￥49,980～税込￥54,978～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ヒーター-
XLG-2M9_J - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥73,980～税込￥81,378～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
XLG-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/OリングシールSMC￥37,980～税込￥41,778～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLFV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/OリングシールSMC￥42,980～税込￥47,278～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLF-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥62,980～税込￥69,278～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
XLF-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/OリングシールSMC￥36,980～税込￥40,678～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLF - アルミニウム製高真空L型バルブ/常時閉/OリングシールSMC￥249,800～税込￥274,780～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
オーダーメイド仕様標準
XLDV - アルミニウム製 高真空L型バルブ/電磁弁付/二段制御・単動/ベローズシール・OリングシールSMC￥84,980～税込￥93,478～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
XLD - アルミニウム製 高真空L型バルブ/二段制御，単動/ベローズシール・OリングシールSMC￥74,980～税込￥82,478～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
XLC-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥55,980～税込￥61,578～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
XLC-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/ベローズシールSMC￥39,980～税込￥43,978～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLAV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥43,980～税込￥48,378～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLA-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥63,980～税込￥70,378～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
XLA-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥36,980～税込￥40,678～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブSMC￥539,800～税込￥593,780～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80SMC￥169,800税込￥186,780
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)接続口径【パイロットポート】Rc1/8質量(kg)5.1フランジ80フランジタイプKF(NW)表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地使用流体不活性ガス系の真空弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)オートスイッチ個数1ケ付インジケータなしパイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7オートスイッチ種類D-A93Lパイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYHSMC￥55,980～税込￥61,578～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYDSMC￥81,980～税込￥90,178～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYCSMC￥57,980～税込￥63,778～
1個
翌々日出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
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