めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
CADデータあり
めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
『真空機器』には他にこんなカテゴリがあります
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