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冷陰極真空計 CCTGミラプロ￥289,800～税込￥318,780～
1台
63日以内出荷
コールドカソードタフゲージCCTG(Cold Cathode Tough Gauge)はカソード電極を加熱することで、従来は対応できなかった電極汚染の防止、超高真空領域での安定放電を実現しました。
また、カソード材質にセラミックを採用したことにより、従来にはない耐腐食性を兼ね備えました。
今まで計れなかったハロゲンガス雰囲気の圧力を計測することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製インターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点入力電源(V)DC24、1A測定範囲1×10-8Pa ～ 0.1Pa電圧(V)3k～500(バイアス/最適制御)RoHS指令(10物質対応)対応仕様【圧力単位】Pa/Torr/mbar、【タフモード】測定時カソード電極を通電加熱(温度を3 段階に設定可)、【デガス】カソードを約700℃にフラッシュ加熱、【圧力信号出力】0～10V × 2chタイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
複合真空計 タフゲージミラプロ￥329,800～税込￥362,780～
1台
63日以内出荷
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製材質ピラニ：Ni、ピラニ温度計：Pt100、BA フィラメント：Y-lr、グリッド：Pt-Mo、コレクタ：Pt-MoインターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点入力電源(V)DC24、0.8A測定範囲1×10-8Pa～1.2×105PaRoHS指令(10物質対応)対応仕様●圧力単位：Pa/Torr/mbar●タフモード：測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス：グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱●圧力信号出力：0～10V×1chタイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
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