高い耐熱性を実現したラベル型のプラズマインジケータ。色の変化でプラズマ処理効果を見える化できます。色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現。フレキシブル性、接着性がありますので、基板表面だけでなく装置内に自由に設置し評価を行うことができます。感度は高感度と低感度の2種類からお選びいただけます。
用途高温プロセス(200℃まで)でお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
材質(本体)ポリイミド
径(Φmm)(検知部)10
本体寸法(mm)16×25×0.08
耐熱温度(℃)200
取扱説明書(0.22MB)
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