ULVAC 大気圧ピラニ真空計ULVAC(アルバック)当日出荷
ユーザビリティ向上:パソコン / スマートフォン接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。大気圧から低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。フィラメントには耐久性に富んだ白金を採用しています。JCSS校正も可能です。
用途太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空測定に。真空炉をはじめとする各種産業機器の低真空測定に。大気圧からの広帯域の真空測定に。各種分析装置仕様●アナログ出力タイプ●測定子加熱上限温度:測定子単体150℃(SW100取り外し時)加熱時は、精度など仕様からの逸脱が認められます。SW100の使用温度範囲は、5℃~40℃です。付属品クイックマニュアルトラスコ品番560-8177セット内容SW1-100/SWP16(測定子)材質測定子フィラメント・白金(Pt)その他:SUS304(SWP-1SはSUS316L/Ra<0.5)、FeNiCo、Ni、Au、 Glass、Ceramic質量(g)約105(SW100単体)使用温度範囲(℃)10~40外形寸法(mm)SW100単体/(W×D×H)約48×30×74フランジ取合い:NW16出力測定値出力電圧:DC0V~10V、圧力指示:DC1.7V~8.0V、log 出力:DC1V/1桁、更新時間:50msec、分解能:3mV、誤差:±3mV、出力インピーダンス:10Ω適合規格CE電源電圧定格電圧値:DC24V電圧変動範囲:DC14V~30VMAX(-42/+25%)(リップル、ノイズ 1%以下)定常時:2.0W電源投入時:4.8W過電圧カテゴリ:カテゴリ1(過渡過電圧を十分低いレベルに制限する対策が取られている回路に接続下さい)端末仕様対応:パソコン:Windows10 64bit 以降スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC24保護等級IP30入力信号制御:zero点/大気圧調整、調整クリア、オープンコレクタ入力で動作、負論理通信方式D-sub15-ピンUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)測定範囲(Pa)5×10-2~1×105繰返し性1×10-1~1×104Pa:±2%測定圧力0.05~100000(Pa)測定精度(%)1×10-1Pa~1×10+4Pa:±105.0×10-2~1.0×10-1Pa、1×10+4Pa~1×10+5Pa:±20表示LEDPOWER/ERROR : パワー、エラー表示SET-1 : セットポイント1SET-2 : セットポイント2測定子接続可能:1本/1pc出力信号制御:センサーエラー、セットポイント1/2、オープンコレクタ出力、負論理定格:30VMAX、50mAMAX、70mWコネクタ入出力:D-sub15-ピンコネクタ(オス)、M2.6mmネジUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20~65(非通電時、結露なきこと)調整方式zero点/大気圧調整、調整クリア圧力表示測定子破壊圧力:2×105 Pa(絶対圧)(フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください)湿度範囲(%)15~80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
電離真空計(マルチイオンゲージ)ULVAC(アルバック)当日出荷
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
材質測定子フィラメント・白金(Pt)質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)種類真空計使用温度範囲(℃)10~50外形寸法(mm)コントローラ部/69×63×90(W×D×H)電圧(V)DC20~28出力測定値出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}適合規格CE表示デジタル・仮数部2桁/指数部1桁(LED表示)端末仕様対応:パソコン:Windows10 64bit 以降スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20~28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30出力信号制御:センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力:D-sub15ピン(M2.6ネジ)内容積(cm3)19(センサ)保管温度範囲(℃)-20~65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec接続センサー接続可能センサ:マルチイオンゲージセンサ:1本耐圧(Pa)センサ:2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要取合フランジNW25湿度範囲(%)15~80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
電離真空計ULVAC(アルバック)22日以内出荷から91日以内出荷
異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)使用温度範囲(℃)10~50出力測定値出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}使用温度範囲ST200-A(10~50℃)適合規格CE精度(測定)1.0×10^-4~3.0×10+0Pa:±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4~1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10^4~1.0×10^5Pa:±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4~1.0×10^4Pa:±10% 1.0×10^4~3.0×10^5Pa:±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)端末仕様対応:パソコン:Windows10 64bit 以降スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20~28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30入力信号制御:FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理表示LEDPOWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)測定子電離真空計測:ISG1外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5出力信号制御:センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力:D-sub15ピン(M2.6ネジ)保管温度範囲(℃)-20~65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec繰返し精度(%)(N2)ST200単体モード:±2耐圧(Pa)センサ:2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要湿度範囲(%)15~80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
ピラニ真空計(大気圧型)ULVAC(アルバック)欠品中
大気圧を含む低真空領域(0.05~100000Pa)の測定が可能です。フィラメント材には耐久性に優れた白金(Pt)を採用しています。トランスデューサ型SW1-1は表示器不要でも使用可能です。
仕様●アナログ出力タイプ●測定子加熱上限温度:測定子単体150℃(SW100取り外し時)加熱時は、精度など仕様からの逸脱が認められます。SW100の使用温度範囲は、5℃~40℃です。付属品クイックマニュアル材質測定子フィラメント・白金(Pt)その他:SUS304(SWP-1SはSUS316L/Ra<0.5)、FeNiCo、Ni、Au、 Glass、Ceramic質量(g)約105(SW100単体)使用温度範囲(℃)10~40出力測定値出力電圧:DC0V~10V、圧力指示:DC1.7V~8.0V、log 出力:DC1V/1桁、更新時間:50msec、分解能:3mV、誤差:±3mV、出力インピーダンス:10Ω適合規格CE電源電圧定格電圧値:DC24V電圧変動範囲:DC14V~30VMAX(-42/+25%)(リップル、ノイズ 1%以下)定常時:2.0W電源投入時:4.8W過電圧カテゴリ:カテゴリ1(過渡過電圧を十分低いレベルに制限する対策が取られている回路に接続下さい)ケーブル長(m)測定子:5出力電圧(V)レコーダー:DC0~10 LOG出力端末仕様対応:パソコン:Windows10 64bit 以降スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC24・AC100~240(ACアダプタ使用時)保護等級IP30入力信号制御:zero点/大気圧調整、調整クリア、オープンコレクタ入力で動作、負論理通信方式D-sub15-ピンUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)測定範囲(Pa)5×10-2~1×105繰返し性1×10-1~1×104Pa:±2%測定精度(%)1×10-1Pa~1×10+4Pa:±105.0×10-2~1.0×10-1Pa、1×10+4Pa~1×10+5Pa:±20表示LEDPOWER/ERROR : パワー、エラー表示SET-1 : セットポイント1SET-2 : セットポイント2測定子接続可能:1本/1pc出力信号制御:センサーエラー、セットポイント1/2、オープンコレクタ出力、負論理定格:30VMAX、50mAMAX、70mWコネクタ入出力:D-sub15-ピンコネクタ(オス)、M2.6mmネジUSB Type-C(USB Type-CはUL-MOBIによる通信のみに使用できます)取付姿勢制限無し保管温度範囲(℃)-20~65(非通電時、結露なきこと)調整方式zero点/大気圧調整、調整クリア圧力表示測定子破壊圧力:2×105 Pa(絶対圧)(フランジやクランプなどの破壊圧力は別途考慮ください)湿度範囲(%)15~80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)
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