電離真空計
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実：アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中)：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域(1×10+5～1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
- オプション
- マルチイオンゲージセンサ：SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)、材質：フィラメント：Ir/Y2O2コート、その他：PtC-Mo、 SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ：SWU10-R(従来品SPUも対応)
ピラニゲージセンサ：SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、 SWP-CF16(ICF034)、材質：フィラメント-Pt、 その他-BS/Ni、 メッキ、 Ni、 半田
大気圧センサ：SAU(NW16) 材質：SUS316L
ユニットケーブル：GUC-200P(SWU用)：0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用)：0.5m、 1m、 2m
ディスプレイユニット：1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル：SH200～ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ：入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ)) - 端末仕様
- 対応：パソコン：Windows10 64bit 以降
スマートフォン：Android 6以上、USB TypeC - 出力信号
- 制御：センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- 精度
- (測定)1.0×10^-4～3.0×10+0Pa：±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4～1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10^4～1.0×10^5Pa：±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4～1.0×10^4Pa：±10% 1.0×10^4～3.0×10^5Pa：±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)
- 使用温度範囲(℃)
- 10～50
- 使用温度範囲
- ST200-A(10～50℃)
- 電源電圧(V)
- DC20～28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下
- 測定子
- 電離真空計測：ISG1
- 質量(g)
- 約280(コントローラ)、80(測定子)
- 出力
- 測定値出力電圧 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
- 適合規格
- CE
- 保護等級
- IP30
- 入力信号
- 制御：FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理
- 表示LED
- POWER/ERROR： パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
- 外寸法(mm)
- ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
- コネクタ
- 入出力：D-sub15ピン(M2.6ネジ)
- 保管温度範囲(℃)
- -20～65(非通電時、結露なきこと)
- 表示更新時間
- 60msec
- 繰返し精度(%)
- (N2)ST200単体モード：±2
- 耐圧(Pa)
- センサ：2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
- 湿度範囲(%)
- 15～80(ただし、結露なきこと)
- サンプリング周期(ms)
- 60(5回の移動平均処理)
- 内容量
- 1個
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内容積(cm3)
特別運賃
| 地域 | 単位 | 配送費 |
|---|---|---|
| 全国 | 数量1につき | ¥0/税込¥0 |
| 北海道地方 | 数量1につき | ¥0/税込¥0 |
| 沖縄地方 | 数量1につき | ¥0/税込¥0 |
| 離島 | 数量1以上のご注文(同一注文コードにつき) | ¥20,000/税込¥22,000 |
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