エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮。貼り付け精度向上。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定・LCD製造装置における硝子基板の温度測定・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)38×10
表示8点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。 プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(mm)W21×10
寸法(幅W×高さH)(mm)21×10
表示4点表示
精度(%)±1
変色白→黒
RoHS指令(10物質対応)対応
エッチング、スパッタリング、その他真空内温度測定に。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮。貼り付け精度向上。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー。すべてのレンジにカプトンフィルム使用。
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定・LCD製造装置における硝子基板の温度測定・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)29×10
表示6点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
0種~2種までの危険場所で使用可能。本質安全防爆構造 Ex ia IIB T4 Ga 労検番号:第TC22537X(10~15kgモデル)/第TC22554X(60~220kgモデル)。本質安全防爆構造とは:正常時及び事故時に発生する電気花火、または高温部により爆発性ガスに点火しない構造。計量台防塵・防水仕様 IP65。高精度なシングルレンジ。3色5段カラーコンパレータライト標準装備。暗いところでもくっきり見えるバックライト付き液晶表示。各種設定に便利なテンキー付き。表示部は上向き方向に無段階で調整可能。在庫数量管理に個数計機能。連続計量に累計機能(計量した回数とその合計質量を記録可能(最大累計回数999回))。抜き取り計量(マイナス計量)にも使用可能
用途0種~2種までの危険場所での、コンパレータライトを使用した、計量・在庫数管理・連続計量(累積機能・自動風袋引き)に使用可能
防塵防水性能IP65(計量部)
電源単1アルカリ乾電池 パナソニック社製LR20(XJ)×4個(別売)
動作温湿度範囲-10℃~40℃ 85%R.H.以下(結露しないこと)
0種~2種までの危険場所で使用可能。本質安全防爆構造 Ex ia IIB T4 Ga 労検番号:第TC22537X(10~15kgモデル)/第TC22554X(60~220kgモデル)。本質安全防爆構造とは:正常時及び事故時に発生する電気花火、または高温部により爆発性ガスに点火しない構造。計量台防塵・防水仕様 IP65。3倍働くトリプルレンジ。3色5段カラーコンパレータライト標準装備。暗いところでもくっきり見えるバックライト付き液晶表示。各種設定に便利なテンキー付き。表示部は上向き方向に無段階で調整可能。在庫数量管理に個数計機能。連続計量に累計機能(計量した回数とその合計質量を記録可能(最大累計回数999回))。抜き取り計量(マイナス計量)にも使用可能
用途0種~2種までの危険場所での、コンパレータライトを使用した、計量・在庫数管理・連続計量(累積機能・自動風袋引き)に使用可能
電源単1アルカリ乾電池 パナソニック社製LR20(XJ)×4個(別売)
動作温湿度範囲-10℃~40℃ 85%R.H.以下(結露しないこと)
防塵防水性能IP65(計量部)
3点表示・真空用超小型シール 真空用・世界最小 ラベルの端から示温素子まで1mm。ウェハ・エッジの温度を測ることが出来る プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます) カプトンの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮 貼り付け精度向上 すべてのレンジにカプトンフィルム使用
用途・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定
寸法(幅W×高さH)(mm)8×3
表示3点表示
精度(%)±1
RoHS指令(10物質対応)対応
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