SEMI E84の事前/事後チェックにご利用ください。2種類のアプリケーションソフトにより、搬入前の移載シミュレーションと、稼動後の移載トラブル解決に光通信ログデータをDMG/DMJから読み出し、パソコンにタイミングチャートでわかりやすく表示。
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